本發(fā)明屬于光學(xué)精密測(cè)量,具體涉及一種多面復(fù)合白光干涉的轉(zhuǎn)軸五自由度誤差同步測(cè)量方法及裝置。背景技術(shù)、精密轉(zhuǎn)軸是機(jī)床至關(guān)重要的部分,其精度要求越來(lái)越高,逐漸發(fā)展到微米級(jí)以上,并朝著納米級(jí)、亞納米級(jí)發(fā)展。而在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中,精密轉(zhuǎn)軸不可避免的會(huì)產(chǎn)生五自由度運(yùn)動(dòng)誤差,包括面內(nèi)徑向運(yùn)動(dòng)和面外軸向和傾斜運(yùn)動(dòng)。這...