本發(fā)明針對用于mems(微機(jī)電系統(tǒng))光學(xué)快門/斬光器、可變衰減器(voa)、光學(xué)開關(guān)、可調(diào)濾波器應(yīng)用的旋轉(zhuǎn)類型的電熱致動器。背景技術(shù)、mems(微機(jī)電系統(tǒng))快門在光纖通信、測試儀器、激光系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用,其中,光衰減器、光快門或光斬光器是產(chǎn)品的必要部分。對于光學(xué)系統(tǒng)來說,能夠產(chǎn)生大位移以瞬時或...